一、潔凈室用材的選擇
1.必須仔細選擇潔凈室的各種用材，確保它們不會對室內造成污染。潔凈室內經常使用的材料與設備舉例如下：
1) 生產中使用的材料：在微電子工業中使用的硅晶片；
2) 產品包裝材料：如玻璃瓶、塑料瓶、塑料袋、預制的盒子等； 3) 工藝設備和機器；
4) 對設備和機器進行維修、校準、修理的工具以及轉動設備的潤滑劑等； 5) 人員服裝，如潔凈工作服、手套、指套、口罩、頭罩等； 6) 潔凈室清潔用品，如抹布與拖把；
7) 消耗性用品，如書寫紙張、圓珠筆、標簽、棉簽。
在大多數潔凈室中粒子和纖維都是環境污染的主要來源。所以，應避免在生產工藝中使用容易破損或散發粒子的材料。其表面帶有粒子和纖維的材料也應避免使用。
在半導體工業中，產品表面的化學品和空氣環境中的某些氣體分子可能形成的化合 物，會沉積在半導體的表面上，它們可能影響產品質量，甚**損壞半導體芯片。
在一些潔凈室中，那些無法將靜電不斷地傳導開的材料，可能會因為靜電荷的積累和放電使那些對靜電敏感產品會受到損壞。此外，靜電還會使材料產生靜電吸附效應而吸附粒子，造成污染問題。
選擇用于潔凈室內的生產材料，不僅僅要著眼于適合于生產工藝，而且也應關注是否有可能產生污染。顯然對那些既可能構成污染，但又是生產所需的材料和物品，只有在缺之不可的情況下才能使用，或只有在已經充分認識到了這些材料產生污染的問題，并考慮了其他替代材料但又確實都不適合后，才可使用。
2.以下所列舉的部分乃**全部物品，因其會造成潔凈室的嚴重污染，根據產品對污染的敏感性不同，一般禁止在潔凈室中使用。
1) 非潔凈室專用紙，如果一定要使用普通紙，應將其放入塑料袋內或采用雙面熱塑； 2) 鉛筆與橡皮、墨水中含有污染潔凈室環境的化學品、纖維頭書寫筆或者會劃紙的圓珠筆、修改液；
3) 用低碳鋼或其他會生銹、磨蝕、氧化的材料制成的物品； 4) 用機器加工或處理時會冒煙或破損的物品；
5) 用木頭、橡膠、紙張、皮革、毛、棉及其他天然材料制成的易破損物品； 6) 研磨材料或粉末、產生氣溶膠的瓶瓶罐罐；7) 不適合于在潔凈室中使用的一次性物品，如棉簽、膠帶、標簽；
8) 潔凈室人員不得將第8章8. 12節中開列出的個人物品帶入潔凈室內。
二、外部供應的物品及其包裝
如果物品的供應商對潔凈室要求知之甚少，或根本不予關心，那么它所供應的物品在進人潔凈室時可能已受到了嚴重污染。在某些情況下，這可能是造成污染的一個重要原因。因此，為解決這類問題應采取一些措施。
1. 外供物品宜在潔凈環境中產生
供應潔凈室的物品要求在潔凈環境中生產，其潔凈度標準宜與產品所供應的潔凈室相 同。如果外部供應物品交付時不能達到適當的清潔水準，則必須在潔凈室中對其加以清 潔，但這樣做的效果可能差些。有越來越多的公司在潔凈環境中制造供應潔凈室生產所需 的零部件，潔凈室管理人員應該向本企業采購部門強調，要關注潔凈室物品供應商的生產 環境。應盡量選擇質優價廉，又是在相應潔凈環境中生產的潔凈室用品，以保證本企業潔 凈室的潔凈度和減少清潔外供物品的耗費。
參觀考察供應商的生產設施并檢查其生產環境是很必要的。外供物品生產廠家可能并 不熟悉潔凈室技術。所以，對他們的生產工藝的一些簡單建議和改進，就可能產生不錯的效果。即使制造廠家不具備潔凈生產環境，但只要有較高水平的潔凈管理條件，使用潔凈室用的手套、抹布、不起毛的服裝等，也可大大提高產品的質量。
2. 外供物品的包裝材料
應注意產品的存儲和包裝。如果加工的產品從生產設備上取下后立即用合適的潔凈包 裝方式包裝好，則周圍較差的生產環境對產品的影響就可以降****小。
外供物品的包裝方法和包裝材料必須考慮所供應的潔凈室的潔凈度等級，包裝的尺 度、外形均應符合貯藏、運輸、開箱過程中防污染的要求，對包裝材料的主要要求有以下 幾點•.
1) 包裝材料的無污染性：要求包裝材料本身不產生粒子、纖維、污染氣體及蒸汽等， 不明顯地帶靜電，不與包裝品產生化學反應；
2) 包裝材料必須使用能夠清潔到包裝物品所要求的潔凈度的材料；
3) 材料的強度及耐久性：包裝材料應承受溫濕度、外部作用力和紫外線等影響，能夠保證所要求的密封性，避免運輸、存放過程中破損而污染，以致將污染帶入潔凈室中。
潔凈室外供用品的良好包裝，不僅可以避免產品在運輸途中的損壞，也可以**大限度地避免產品受到外部環境的污染。常使用的塑料材料為塑料薄膜或預制的包裝塑料。塑料材料與其他許多材料相比，粒子、纖維、化學污染較少。塑料污染的大小取決于所使用的塑料種類、制造方法以及包裝 方式。所以，對所用塑料包裝是否適宜也要進行檢驗。有些塑料會產生靜電，從而可能損壞產品。如果使用防靜電塑料，它對粒子及纖維的 吸附作用也較小，因此也更潔凈。如果需要控制分子污染的話，則有些塑料包裝材料（如 PVC包裝材料），可能就不適用了。 #p#分頁標題#e#
3.外供物品的包裝方式
還要考慮的是需要幾層包裝。如果潔凈室用的物品采用的是多層包裝，就可以在其運往潔凈室的過程中一次打開一層逐步拆裝，這就可以保證物品送**潔凈室時是較潔凈的。對外包裝用真空吸塵器吸掃外表面及用潮濕抹布擦拭，有助于保持其清潔，特別是在將產品運往潔凈室的開始階段，尤其如此。隨著產品逐步進入潔凈室，外包裝也變得越來越潔凈，相對而言外包裝的清潔工作就顯得不那么必要了。
包裝物品有各種各樣的正確方法。不同的物品、不同的用途、材料傳遞氣閘室的不同設計等使得包裝方法也有很大區別。所以，潔凈室的管理人員必須規定適用的包裝材料， 規定所需物品在進入潔凈室的過程中對包裝進行清潔和打開各層包裝的規程。
三、 通過氣閘室傳遞物品和小件設備
任何潔凈室都不免要和其他低潔凈級別區或非潔凈區發生物品傳遞的情況，減少傳遞 過程中污染物的侵入是重要的日常管理工作。
通常使用氣閘室、緩沖間以避免潔凈室外的空氣直接進入潔凈室內。在氣閘室的兩個門均關閉時，從外走廊在開門時侵入的污染以及使用氣閘室的人所散發出的污染，均被氣閘室的送風所稀釋。材料傳遞氣閘室的兩個門如同人身凈化的吹淋室一樣，一般都是聯鎖的。這樣就可以 確保一扇門關閉之前另一扇門是不能打開的，可采用電氣聯鎖，也可以是機械聯鎖。這樣就可以防止外部較低潔凈級別或非受控區的空氣直接進人潔凈室。粘墊則放在氣閘室人口處，或者氣閘室內。粘墊的作用是防止鞋底或推車輪子上粘附的污染轉移到潔凈室內。氣閘室也用來防止材料表面及其包裝上的污染物帶入潔凈室。以下介紹了兩種通過氣 閘室傳遞材料的方法。一種是“有臺”式材料物品傳遞氣閘室；另一種是“無臺”式材 料物品傳遞氣閘室?？筛鶕鶄鬟f的材料物品及傳遞的安全性選用。
1.帶傳遞臺的氣閘式傳遞室
“有臺”式材料物遞氣閘室是將供應品安全地傳遞進潔凈室的方法之一。這種方式就 是由傳遞臺將氣閘室分成“較臟”與“清潔”兩個區，這種方法適用于傳遞較輕、可以由人力搬動的材料和設備。
使用傳遞臺傳遞物品的方法如下：
1) 清潔傳遞臺：先將非受控區一側的門打開，搬運材料或設備的人員，從較低潔凈 級別或非受控區進入氣閘室。氣閘室地面鋪有粘墊或粘毯，這樣，從外面地板向內轉移的 污染就可以**少。搬運人員按規定方法對傳遞臺進行清潔，必要時對其進行消毒，進行清 潔工作時要注意，較長的傳遞臺面被分為兩個區域，靠潔凈室一側為“清潔”區，靠較低 潔凈級別或非受控區一側為“拆包”區，如圖10-1所示。2) 送入傳遞物品并拆包：完成清潔工作后，搬運人員將帶包裝的物品送人氣閘室。 但不得把紙板箱的包裝材料帶入氣閘室內，因為它們會散發較多粒子，易造成交叉污染。 將帶著塑料包裝的物品送人氣閘室后，將其放置在傳遞臺的“拆包”區一側，即所謂的 “帶包裝”側或“臟”側。隨即對包裝進行清潔，然后拆開包裝。其具體清潔方法根據使 用物品的潔凈室的標準而定，**別潔浄室要求“精潔凈”，一般潔凈室要求則略低。然 后把物品放置于傳遞臺的另一側，即所謂的“包裝已拆”側或“潔凈”側。將物品從外 部區域送人氣閘室內的人員攜帶裝置外包裝的容器，關上通往外部區域的門，離開氣 閘室。
3) 氣閘室充分自凈：讓氣閘室處在無人狀態下數分鐘的時間，以便將污染降**這樣 的濃度：當潔凈室一邊的門打開時，潔凈室不會受到大的影響。為實現這一目的，可安裝 內外門的聯鎖計時裝置或指示燈。當潔凈室側門自動打開或指示燈點亮后，潔凈室的人員 進人氣閘室，拿起物品后離開氣閘室，如圖10-2所示。
2.無傳遞臺的傳遞區
如果需要將大的重型設備或機器進出潔凈室，則常常使用不帶傳遞臺的氣閘室。但不帶傳遞臺的氣閘室作為傳遞區使用時，其安全度一般低于帶傳遞臺的氣閘室。其工作程序 如下：
拆除用紙箱等包裝的潔凈室用品放在一清凈小車上。小車從外部的非受控區推入傳遞 用氣閘室，人員隨即離開。來自潔凈室的人員進入氣閘室并取到供應的材料。如果該材料 較重，不得不將小車推入潔凈室。在將小車推人潔凈室以前，必須在氣閘室內對其進行清 潔。如果材料不那么重的話，則可將材料轉移到從潔凈室推過來潔凈室專用的材料轉運小 車上。
清潔或拆除材料的包裝，或先清潔再拆除包裝。然后，將載有材料的潔凈小車推入潔凈室，潔凈室的門隨后關閉。如果有物品需要帶出，外來的小車可暫時留在氣閘室。如果有更多的供應物品需要運入，外來的小車即可離幵氣閘室。
當把潔凈室的小車推人潔凈室前，可以考慮使用潔凈室粘墊或粘毯清除小車輪子上的 污染物。
四、 潔凈室固定設備的進入、安裝與維修
對于那些進入潔凈室就位后就同定不動或相對同定的大型設備，例如潔凈室生產工藝 用的自動機械加工設備、隔離性裝置、排風罩等，這類固定設備通常處在潔凈室關鍵工序 的周圍，它們一旦被安裝到位，再次移動不僅十分困難，并對潔凈室的環境條件也影響較 大。對于這類潔凈室的大型設備，shou先要求供貨商在生產制造時，務必在潔凈環境中，而且其包裝材料、方法也應符合潔凈室的要求。 #p#分頁標題#e#
1. 固定設備進入的程序
為了避免發生大型固定設備進入“動態”潔凈室，也就是說潔凈室已投付正式運行， 還要進入大型固定設備，應該在管理計劃中盡可能排出。因為在這種特殊情況下，潔凈室 按ISO 14644 -2 “證明持續符合ISO 14644 - 1的測試和監測技術條件”的規定要重新認 證潔凈室，其工作是相當繁雜的。
正常情況下，通常是在空態或靜態條件下將固定設備送入。把設備送入潔凈室時，應該關注的問題是：整個過程都不應增加對環境的污染。
解決大型部件運進運出的**好辦法就是設計一個大型物流氣閘室。它足以將每件設備 運進運出潔凈室。如果條件允許，設計潔凈室時，宜考慮采納這個方案。
設備進出潔凈室的另一設計方案是在潔凈室的墻上開一組雙門，大得足以容納機器、大型設備件的通行。由于這樣的通道有可能直接與外走廊相通，因此必須鎖住，只有設備需要進入時才打開。有些類型的墻板模塊可以取下來再安裝好又不對墻造成損壞，這樣的話，就不需要另開門洞。
2. 可在潔凈室內墻一側建一個臨時氣閘室
所有準備進入的設備都要檢查在運輸中有無損壞，有損壞的設備應該在潔凈室外隔離 保護起來，待供貨商修復或另行處理。運輸用的板條箱、硬紙板等應該在鄰近潔凈室的未受控區內拆封，然后再運進受控環 境。如果沒有包裝，則設備的所有表面都應該予以清潔，然后再運進潔凈區。
理想的方法是在設備專用氣閘室內進行設備清潔，當設備過大時，宜于在氣閘室 或潔凈室附近臨時專門修建的房間內拆掉**外面的薄膜材料，作進人潔凈室前的清潔
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工作。拆包過程如下：
1) 對設備外護層用吸塵設備進行清潔，從頂部開始，向兩側擴展； 2) 用適當的清潔劑擦拭外護層；
3) 從設備外護層的頂部撕開一個“工”型或“X”形切口，從頂部向下剝離外護層 4) 如果有多層包裝，每層包裝膜都要按2)、3)程序重復進行； 5) 所有運送設備人員進入氣閘室前都要穿上適當的潔凈服； 6) 所有移動用、搬運用的設備都應在氣閘室內進行清潔；
7) 在打開氣閘室靠潔凈室一側的門運入設備前，應先清潔氣閘室。 3.通過傳遞窗傳遞材料
除了物流氣閘室外，還有其他方法可將材料傳遞入潔凈室內供使用。將小型的物件傳 進傳出潔凈室通用的辦法就是使用傳遞窗。傳遞窗的工作方式與物流氣閘室相似，將物品傳遞入潔凈室，大致通過下述的 步驟：
1) 在潔凈室外面的人員打開傳遞窗的小門，對傳遞窗進行清潔； 2) 打開物品的一層包裝，將物品放入傳遞窗內； 3) 關閉傳遞窗的小門；
4) 在傳遞窗另一邊的人員打開傳遞窗的內門，取出物品。對取出的物品進行清潔。 在污染控制要求嚴格的場合，則再打開物品的另一層包裝。傳遞窗一般都帶有電子或機械的聯鎖裝置，防止兩個小門被同時打開，這樣可防止外部空氣流入潔凈室。有時將傳遞窗建在與地面水平的位置，便于較重的物品通過傳遞窗
4.固定設備運入的機械
如有可能，大型設備應該臨時拆卸為能安全進人潔凈室的組件，使潔凈室設備運入過程的風險降低。因為這些大型裝設搬運中，與潔凈室圍護結構表面接觸時，可能發生磨損、撞傷，并產生污染。
所有用于大設備、組件的提升、牽引或定位的專用設備，在進入潔凈室前必須徹底清 潔。這類設備多數不是專為潔凈室使用而設計、制造的，應徹底地檢驗有無膜屑，表面剝落狀況或不宜進入潔凈室的材料。
通常宜用與潔凈室級別相適應的塑料薄膜或帶子包裹或密封這些設備的外表面。設備 如橡膠輪，宜用潔凈室專用塑膠帶（cleanroom - compatible plastic tape)包嚴，以免在地面 上**下橡膠或塑料微粒。
5.固定設備的安裝程序
**有效的措施是在設備安裝階段用臨時的隔墻或隔斷把設備所在位置與潔凈室隔離開 來。為不妨礙設備安裝，在設備周圍應留出足夠的空間，但同時也要注意隔離區空間適度，不宜過大。操作程序及其他注意事項如下：
1) 設備應盡可能通過服務通道或其他非關鍵區（non-critical area)進人隔離區（dis- olation area),如不可能則應采取措施盡量減少污染。
2) 該隔離區的氣壓相對于周邊應維持中性或負壓。完全封閉的隔離區則應該截斷區內的潔凈空調送風，以減少安裝時產生的污染物向外擴散。
3) 應該事先制定計劃，明確對隔離區和周圍區域監控的方法和頻率，確保能及時發現污染物由隔離區向外滲透的情況。
4) 設備就位后，在架設各種動力設施，如電、水、氣體、真空、壓縮空氣和排水管道時，應采取措施控制操作過程產生的煙氣和殘渣，避免污染周圍的潔凈室，也有助于減輕拆除隔斷時的清潔工作量。
5) 在設備安裝工作完成后，清除隔離區內的污染，墻、地面、設 備等所有表面都要用真空吸塵器清掃、清理和擦拭。要特別注意設備護板后面和下面區域的清潔。 #p#分頁標題#e#
6) 在隔離區清潔工作完成后，可以進行設備的試運行和設備性能的初步測試，但**后驗收的測試，則需要完全具備潔凈室的條件方可。
7) 經仔細分析，選定對潔凈室內的正常工作干擾**少的時間拆除隔斷墻。在小心地拆除隔斷墻的同時，隔離區內原被臨時阻斷的送風口，開始恢復送入潔凈空氣。此過程中，宜于隨時監測周邊離子濃度的變化。
8) 清理隔斷后，設備所處位置恢復潔凈室正常狀態，開始對設備內部和關鍵工序部位（critical processing chambers)，進行進一步清潔和作投人使用的準備。
9) 對設備所有內腔和所有與產品接觸表面，也包括產品裝卸的表面，都要進行擦拭， 使之達到要求的潔凈度水平。設備清潔順序應是從頂到底。如果清潔過程中有顆粒物散出，則較大的粒子，在重力作用下將落到設備底部或地面。
10) 再次清潔設備外部，其順序也是從頂**底。
11) 必要時，應檢查產品或工藝要求非常關鍵區域的表面粒子情況。 6.固定設備的維護與維修
任何設備都需要定期維護或臨時維修。對此項工作的指導原則是：無論設備進行維護或維修時，都不能造成對潔凈室的污染。維護、維修工作完成后要清除設備外表面的污染，按工藝要求，必要時還要清除內表面的污染。
1) 如有可能，凡要進行維修的設備應先移出潔凈室再維修，以減少污染產生的可能性； 2) 如果必要，應將需要維護的固定設備與周圍的潔凈室隔離開來，再進行主要的維護或維修。或者采取把所有正在制造的產品移往適當位置的措施；
3) 正在維護、維修設備相鄰的潔凈室區域，應適當加強監控，以保證有效地控制污染； 4) 在隔離區內進行維修、維護的工作人員，不應與潔凈室的生產或操作人員發生接觸； 5) 進人潔凈室的維護或維修人員，應遵循該潔凈區的規范，包括穿著適當的工作服及維修完成后對該區和設備清潔應達到要求；
6) 如果技術人員需要躺下或爬到設備下面去維修，應該先確定工作條件是否適宜，應在進行化學品、酸或生物危險品有效中和或適當處理后，再開始維修工作；
7) 應采取措施保護維修人員的潔凈服不接觸到設備上的潤滑油或工藝用化學品等污 染物，還應避免潔凈服被設備、工作的銳邊撕裂、捅破；
8) 進行維護或維修工作用的全部工具、工具箱、小車等，在進入潔凈室前都應徹底 地清潔，不允許帶入任何銹蝕的工具。如果進人生物潔凈室，則還可能要求滅菌或消毒；
9) 維修技術人員應避免把工具、各種零配件、損壞的零部件或清潔用的工具材料等 任何物品，放置在產品或工藝材料用的工作表面附近；
10) 維修工作過程中應該注意清潔，隨時進行清潔工作，定期地更換手套，避免因手 套破損，維修人員的皮膚接觸設備潔凈表面的情況發生；
11) 如果要求使用耐酸、耐熱或耐切割型的非潔凈室手套，那么這些手套應符合潔凈 室要求或另套一副潔凈室手套；
12) 如需進行鉆、鋸作業時，應使用專用的罩蓋，把工具和進行鉆、鋸的區域遮蔽起 來，同時使用潔凈室真空除塵器，及時吸走揚塵。
13) 在地面、墻面、設備側板或其他表面鉆孔后，留下的縫隙、孔洞，要采取密封措 施，如用填料、粘合劑和特殊制造的板堵塞，以防止污染物經孔洞、縫隙擴散到潔凈室內。
